Тип газа играет решающую роль в состоянии плазмы и напрямую влияет на способ модификации и результат обработки поверхности полимерного материала плазмой.Плазменная обработка поверхности обычно использует неполимерные газы, включая нереакционноспособные газы и химически активные газы.

Нереакционноспособные газы относятся к инертным газам, таким как He и Ar.Когда плазма этого типа газа воздействует на материал, инертный газ возникает из полимерной цепи и не соединяется с ней.Плазменная обработка поверхности предназначена для травления поверхности и образования свободных радикалов., Но когда материал контактирует с воздухом, свободные радикалы на поверхности будут продолжать реагировать с активным газом в воздухе с образованием полярных групп.

Реактивные газы для плазменной обработки поверхности относятся к некоторым неорганическим газам или летучим неорганическим соединениям, обычно используемым O2, N2, CO2, CO, H2O, NH3, SO2 и т. д., которые отличаются от нереакционноспособных инертных газов.Когда плазма реактивного газа воздействует на материал, атомы газа могут соединяться с полимерной цепью, образуя соответствующие функциональные группы.